6 英寸係列劃片機
型（xíng）號:EXR054A
主要用於集成電路、發（fā）光二極管、LED芯片（piàn）、太陽能電（diàn）池、電子基片等的劃切加工，適用於矽（guī）、石英、氧化鋁、氧化鐵、砷化镓、铌酸鋰、藍寶石、壓（yā）電陶瓷和（hé）玻璃等（děng）材料。
關鍵特點
◎橋型（xíng）工作台結構，剛性強度（dù）好，可有效降低主軸震動和溫度變形量。
◎X軸采用交流伺服係統（tǒng），運動速度高;Y軸/Z軸采用閉環控製，誤差積累小，Y軸單步精度高，Z軸重複精度高。
◎具有非接觸測高及（jí）刀體破損檢測功能，可（kě）靠性高。
◎采用先進的CANOPEN總線分布式控（kòng）製，傳輸距離遠，具有自校驗功能;抗幹擾能力強、擴展性強。
◎運行工藝參數可（kě）根據用戶需求自行調整。
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